凹槽深度可變性 | < 3 µm over 450 mm dia.>d> |
最大切槽主軸轉速 | 15000 RPM |
最大可加工面積 | 600 mm直徑 |
最大零件容量* | 600 mm直徑圓 600 mm直徑方形 |
垂直軸行程 | 150 mm |
負載能力 | 454 kg | 1,000 lbs. |
最高速度 | 10 RPM |
徑向誤差運動 | 上表中0.10 µm (4 µin.) @ 1 in. |
錐形誤差 | 1 nm/mm | 1 µin./in. |
徑向剛度 | 525 N/µm | 3,000,000 lbs./in. |
軸向剛度 | 875 N/µm | 5,000,000 lbs./in. |
瞬時剛度 | 17 N-m/µrad | 150 lb-in./µrad |
*Freeform ML or TL 是適用於直徑小於300 mm的零件的理想超精密機床